真空鍍膜解決方案

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Manz 因此建立了專業的真空技術團隊，50位專家當中有許多人在此專業領域的經驗已達20年以上。Manz 真空技術團隊的核心能力在于能根據客戶需求，開發用于薄膜太陽能電池模組大量生產及試作成產的全新真空設備。

Manz 提供各種新穎的濺鍍、蒸鍍與電漿輔助化學氣相沉積系統( PECVD)制程真空設備。其產品組合包含垂直與水平串接式生產系統以及多室批次生產設備。采用模組化概念，讓客戶視需求建立靈活的設備配置。

Manz 濺鍍設備每年產量最高可達 1,600,000 m²，遠在平均值之上。不僅如此極低的生產成本及極小化的設備占底面積，Manz 濺鍍設備PECVD能有效幫助降低總擁有成本。

串接式濺鍍設備?

串接式濺鍍設備的模組化概念，使正、反面接觸層及吸收層的設備配置更加靈活。

• 應用生產驗證工具概念，以極高的系統運行時間進行大量生產，大幅節省成本
• 利用尖端薄膜沉積技術（DC、pDC、MF 回轉陰極與 DC、pDC、MF、RF 平面陰極）以低生產成本達成最高良率
• 獨特的無微粒傳輸系統可創造絕佳薄膜均勻度，并確保最高產量
• 采全模組化設計，可打造客制化設備配置，切合客戶需求
• 極小化的設備占地面積即能達到最高產量，有效幫助降低總擁有成本

  串接式共蒸鍍設備?

  串接式共蒸鍍設備是專門用于高溫沉積制程的標準化模組概念。

  • 利用最小的設備占地面積達到最高產量，降低總擁有成本
  • 采全模組化設計，可打造客制化設備配置，切合客戶需求