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Manz 為晶體硅太陽能電池的制造提供了創(chuàng)新開發(fā)的濕制程方案。第一步包括去磷硅玻璃以及刻蝕除邊等制造步驟。在這方面，Manz 集團(tuán)利用了關(guān)注濕制程設(shè)備制造超過 20 年的亞智科技相關(guān)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)。亞智科技是印制電路板和平板顯示器制造濕制程設(shè)備領(lǐng)域的市場領(lǐng)先者（已經(jīng)安裝了超過2,000臺設(shè)備），是電子和平板顯示器行業(yè)的市場領(lǐng)先者。
Manz創(chuàng)新的濕制程設(shè)備特點(diǎn)如下：
- 應(yīng)用柔軟的海綿輥和最小化基板壓力概念，實(shí)現(xiàn)最低破片率
- 6 個(gè)水道配置實(shí)現(xiàn)了每小時(shí) 4,800 片硅片的高產(chǎn)量（硅片尺寸：156 × 156mm）
- 高度的工藝安全和穩(wěn)定性
- 易操作的觸摸式圖形界面 (GUI)
- 與 Manz 高度集成的 SpeedPicker 系統(tǒng)兼容
- 優(yōu)化總擁有成本
- 化學(xué)品消耗量更少
隨著新的濕制程設(shè)備 IPSG CEI 4800的問世，Manz 提供更為完善的制程解決方案，用來去除硅片背面和邊緣的重?fù)诫s層，從而形成化學(xué)除邊(CEI)。在接下來的處理步驟中，將去除硅片正面上剩余的磷硅酸鹽玻璃(PSG) 層，而該層是在先前的擴(kuò)散過程中形成的。
