電極印刷即是印刷導電層至電池,是太陽能電池制程的重要過程,
Manz在此方面同時可提供獨立高輸出功率印刷系統,也可提供完整的后段制程。單一產線每小時可生產2400片晶圓片,這些設備可以和以下印刷設備外的其它制程整合在一起:
- 內建有隱裂檢測的自動化/取片機
- 內建印刷檢測功能之正面印刷
- 內建印刷檢測功能之背面印刷
- 干燥爐
- 燒結爐
- 激光邊緣絕緣處理
- 電池測試機和分類機之
- 電學性能檢測(太陽能仿真器)
- EL(電激發光)檢測(自動檢測隱裂和制程控制)
- 正面電極印刷檢測
- 背面電極印刷檢測
- 色彩檢測
Manz也具有先進制程的解決方案(例如:選擇性電極)。利用特殊的影像處理系統和精密自動化的高精度印刷機,前制成結構將被以高達 + / - 10μm的精度加以定位。高精密印刷機也可整合在Manz的后段制程,來做二次印刷。
Manz最新研發的產品是Aerosol Jet印刷機,此利用噴霧式制程,使正面電極可印刷在未導電的電池。在此過程中,利用噴墨的方式制造晶種層,下一步驟再上一層純銀。此舉不但減少了電阻,還可增加約 0.5%的發電效率。而不使用絲網印刷所獲得的額外好處,除了降低成本(制造、洗凈、前制程成本),也是一個不須實際碰觸晶圓片的制程,因此可以大幅降低破片率。