流量計

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MFC（流量計） FCS-P系列（壓力式流量計） 　　FCS即流量控制系統（Flow Control System），是專為確立近年來半導體制程中，越來越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩定性、再現性而開發出來的產品。基本操作原理有別于傳統的質量流量計，這是一款經由壓力控制，從而達到高精度流量控制目標的嶄新產品。FCS 能克服氣體供應系統所產生的壓力變動或干擾等制程上不穩定的因素，提供給客戶無限制且穩定的流量控制。 產品特性 ●結構簡單 FCS內部結構相當簡單，且是個完全零死角的結構。 ●卓越的壓力變動特性 上游壓力變動時，質量流量控制器輸出值會呈現大幅度變化，但FCS則完全沒有任何變動。 ●采用流量參數（FLOW FACTOR） 采用流量參數，即可利用N2校正，是FCS對應各種氣體。 ●卓越的精準度 全流量10%以上時，精準度在設定點的±1.0%以下，反之則為全流量的±0.1%以下，精準度相當高。 ●搭載流量異常診斷功能 ●反應靈敏 ●設置位置不受限（MOUNT POSITION FREE） ●對應DEVICE NET 經第三機構測試單位ODVA的測試，完全通過ODVA測試軟體VerA-14的測試