概述
熱解氮化硼(PBN)是種特種陶瓷材料,在特殊設(shè)備上用化學(xué)氣相沉積的工藝制得,熱解氮化硼的沉積過程宛如“落雪”,氮化硼的六角形小雪片,一片一片的平行的落在石墨基體材料上,達(dá)到一定厚度后最終冷卻脫模而成。
主要參數(shù)
性能 | 単位 | 數(shù)值 |
晶格常數(shù) | μm | a:2.504×10-10c:6.692×10-10 |
表觀密度 | g/cm3 | 2.0~2.19 |
顯微硬度(knoop)(ab平面) | N/mm | 691.88 |
體積電阻系數(shù) | Ω·cm | 3.11×1011 |
抗張強(qiáng)度(力∥C) | N/mm2 | 153.86 |
抗彎強(qiáng)度 | 力⊥C | N/mm2 | 243.63 |
力⊥C | N/mm2 | 197.76 |
彈性模量 | N/mm2 | 235690 |
熱傳導(dǎo)率 | | W/m·k | “a”方向 “c”方向 |
200℃ | W/m·k | 60 2.60 |
900℃ | W/m·k | 43.70 2.80 |
介電強(qiáng)度(室溫) | KV/mm | 56 |
主要特點(diǎn)●產(chǎn)品顏色在牙白至橙棕、無毒、無孔隙、易加工。●純度高達(dá)99.99%,表面致密,氣密性好。●耐高溫,強(qiáng)度隨溫度升高,2200℃時(shí)達(dá)到最大值。●耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑,高溫與絕大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體材料不潤(rùn)濕、不反應(yīng)。●抗熱震性好,熱導(dǎo)性好,熱膨脹系數(shù)低。●電阻高,介電強(qiáng)度高,介電常數(shù)小,磁損耗角正切低,并具有良好的透微波性和紅外線性能。●在力學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)等性能上有著明顯的各向異性。產(chǎn)品應(yīng)用:坩堝類以及板材類半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物合成用的坩堝,原位合成GaAs、InP、GaP單晶 的LEC系列坩堝。半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物合成用 VGF、VB法系列坩堝。半導(dǎo)體單晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物合成用分子束外延用的MBE系列坩堝。晶體合成、金屬熔煉蒸發(fā)坩堝等。利用其純度高、絕緣、耐腐蝕等特性,根據(jù)客戶需求制造不同規(guī)格的絕緣墊板、墊片等,發(fā)揮其絕緣作用。行波管用夾持桿。