硅晶圓硅晶片超聲波清洗機(jī)振板

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清洗范圍：半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能電池硅片、晶體、電阻、電容、PCB板、IC芯片、接插件、連接件、轉(zhuǎn)接器、硅片、三極管、二極管、電子線路板、電腦主板、壓電陶瓷片、顯象管、電真空器件等電子器件的生產(chǎn)加工過(guò)程工序間的清洗。清洗原理借助于表面活性劑的潤(rùn)濕、滲透、乳化、增溶、分散等作用, 使沾污在Si片表面的附著力削弱, 再施以加熱、超聲波等物理方法, 使沾污脫離 Si片表面, 而進(jìn)人清洗液中被乳化 、分散開。在清洗液中超聲清洗Si片表面其原理可用“空化” 現(xiàn)象來(lái)解釋: 超聲波振動(dòng)在液體中傳播的音波壓強(qiáng)達(dá)到一個(gè)大氣壓時(shí), 其功率密度為O.35 W/cm, 這時(shí)超聲波的音波壓強(qiáng)峰值就可達(dá)到真空或負(fù)壓, 但實(shí)際上無(wú)負(fù)壓存在, 因此在液體中產(chǎn)生一個(gè)很大的壓力, 將液體分子拉裂成空洞一空化核。此空洞非常接近真空, 它在超聲波壓強(qiáng)反向達(dá)到最大時(shí)破裂, 由于破裂而產(chǎn)生的強(qiáng)烈沖擊將Si片表面的污物撞擊下來(lái)，而這種由無(wú)數(shù)細(xì)小的空化氣泡破裂而產(chǎn)生的沖擊波現(xiàn)象稱為“空化”現(xiàn)象。在超聲清洗中, 表面活性劑也發(fā)揮著重要作用, 通過(guò)表面活性劑的乳化、分散作用, 可以顯著削弱沾污對(duì)Si片表面的吸附, 從而獲得好的清洗效果。