DRF-50 單晶硅生長爐

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DRF50單晶硅生長爐

用途：

主要用于二極管單晶硅棒、硅芯原料棒拉制，多晶硅原料的檢測。

主要技術(shù)參數(shù)

                        DRF-50 

拉制晶體最大直徑:　　　　　Ф3″(Ф80mm)  

最大熔料量　　　　　　　　 10Kg (10″坩堝)

主爐室內(nèi)徑　　　　　　　　　850mm        

加熱方式　　　　　　　　　 石墨電阻加熱  

籽晶拉速　　　　　　　　　　0.2-8mm/min  

籽晶轉(zhuǎn)速　　　　　　　　　　0-30rpm      

坩堝升速　　　　　　　　　　0.02-1mm/min 

冷爐極限真空度　　　　　　　<3pa         

主變壓器容量　　　　　　　　80KVA        

外形尺寸(長×寬)　　　    　3900×3000mm 

質(zhì)量　　　　　　　　　　　　4000Kg