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一、設(shè)備用途：本設(shè)備主要用于晶體硅太陽電池制造中與管式PECVD配套對(duì)硅片進(jìn)行裝卸。即將硅片從料盒中自動(dòng)裝載至石墨舟中，同時(shí)將石墨舟中已經(jīng)完成工藝處理的硅片自動(dòng)裝載至料盒中。二、技術(shù)特點(diǎn)：1、國內(nèi)首創(chuàng)非機(jī)械手式全新技術(shù)方案。2、較機(jī)械手式自動(dòng)插片機(jī)更明顯的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)。3、核心部件都是自主開發(fā)，大大降低客戶維護(hù)成本。4、兼容性好：與市場現(xiàn)有PECVD設(shè)備所配小車能兼容，最大限度降低客戶使用成本。
三、技術(shù)指標(biāo)：
| 產(chǎn)品種類 | WIL（在線式） | WOL（離線式） |
| 型號(hào) | FWT-IL | FWT-OL-A |
| 適用硅片 | 125mm/156mm（單、多晶） | 125mm/156mm（單、多晶） |
| 碎片率 | <0.1% | <0.1% |
| 產(chǎn)能 | 1800 pcs/h | 3000 pcs/h(12舟/小時(shí)) |
| 硅片厚度 | 130~240um | 130~240um |
| 尺寸（L/W/H） | 3710mmX2000mmX2345mm | 3710mmX2000mmX2345mm |
| UP-TIME | ＞97% | ＞97% |
