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儀器簡(jiǎn)介：
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)：
滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～10SLM |
控制范圍 | 2～100％F.S. |
閥類型（及閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） |
準(zhǔn)確度 | ±1.5％F.S. |
線性 | ±0.5～1.5％F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤7sec |
工作溫度范圍 | 5～45℃ |
工作壓差 | 0.1～0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡膠（或氯丁橡膠） |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) |
接頭選擇 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose |
重量 | 1.1Kg |
主要特點(diǎn)：
★高性能價(jià)格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★7A型的更新?lián)Q代型
★管狀分流，使用壽命長(zhǎng)
