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商品簡(jiǎn)介D07-60B型 質(zhì)量流量控制器 ★高精度、重復(fù)性好、快響應(yīng)型 、超大流量型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等業(yè)。詳細(xì)參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0～+5.00V
產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)| 滿(mǎn)量程流量范圍（N2) | 300SLM～2000SLM | |||||
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |||||
| 閥類(lèi)型（閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥 href="http://www.mfcsevenstar.cn/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） | |||||
| 準(zhǔn)確度 | ±2％F.S. | |||||
| 線(xiàn)性 | ±1％F.S. | |||||
| 重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤10sec | |||||
| 工作溫度范圍 | 5～45℃ | |||||
| 工作壓差范圍 | （0.25～0.5）MPa (≤1000SLM) （0.4～0.5）MPa (＞1000SLM) | |||||
| 耐壓 | 3MPa | |||||
| 漏氣率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
| 通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 | |||||
| 靜密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） | |||||
| 動(dòng)密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） | |||||
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| 重量 | 6kg | |||||
