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硅片要求 規(guī)格： 方片125×125mm 、156×156mm
圓片 3"、4"、5"、6"、8"
測量功能 厚度： 單點(diǎn)及多點(diǎn)厚度
TTV: 總厚度偏差
體電阻率： 單點(diǎn)及多點(diǎn)電阻率
TRV: 總體電阻率偏差
測量指標(biāo) 厚度 范圍： 150-1000μm
測量誤差:≤±1.0μm
重復(fù)性1σ:≤0.2μm
TTV 范圍： 0.0-200.0μm
測量誤差：≤±0.50μm
重復(fù)性1σ:≤0.2μm
電阻率 范圍： 0.1-30Ω.cm
測量誤差：≤±3.0%*R
重復(fù)性1σ:≤1.5%*R
設(shè)備尺寸 360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)
