晶體硅光伏電池產(chǎn)品薄膜沉積解決方案

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光伏晶片      由0.2 mm厚的單晶或者多晶硅的吸光（晶片）制成的太陽能電池是基于晶體硅的光伏組件的核心。晶片的前電極或背電極根據(jù)不同的電池技術(shù)，需要鍍上不同的鈍化薄膜和減反射薄膜（氧化硅、氮化硅、氧化鋁等）。導(dǎo)電層是由絲網(wǎng)印刷工藝制成金屬網(wǎng)格。新型高效電池還需要在前電極鍍上TCO薄膜或者在背電極整面鍍上金屬膜。

鋁層的蒸發(fā)是應(yīng)用了馮阿登納多年來研發(fā)的電子束技術(shù)，它使得金屬化可以在高精度和低成本下運(yùn)作。馮阿登納提供基于晶體硅的光伏電池產(chǎn)品的薄膜沉積的不同解決方案。金屬化/通過電子束蒸發(fā)的高效沉積薄膜濺射金屬層的金屬化透明導(dǎo)電氧化物濺射沉積生成鈍化和防反射涂層的濺射更多適用沉積的設(shè)備平臺(tái)：PIA|nova®晶圓金屬化晶圓鈍化研發(fā)與試驗(yàn)設(shè)備