光伏薄膜技術(shù) 馮阿登納公司注意到，薄膜光伏產(chǎn)品是未來市場(chǎng)的一個(gè)增長點(diǎn)，我們可以提供鍍膜方案或薄膜工藝廣泛的產(chǎn)品組合。對(duì)此，我們推薦以玻璃為基片的臥式鍍膜機(jī)PIA|nova®。
而且我們還提供立式配置的設(shè)備，例如GC60V，以及對(duì)使用卷對(duì)卷工藝的柔性基片鍍膜的解決方案。
 

馮阿登納研發(fā)和提供高度自動(dòng)化離線鍍膜設(shè)備，可以應(yīng)用于所有常規(guī)尺寸基片，生產(chǎn)金屬電極、透明氧化物導(dǎo)電膜以及基于CIS 或 CdTe的半導(dǎo)體膜層。根據(jù)上述應(yīng)用，我們提供以下系統(tǒng)：  PIA|nova®GC60V      FOSA1600  GC330H研發(fā)與試驗(yàn)系統(tǒng)PIA|nova® 模塊化的，靈活的，高度自動(dòng)化的生產(chǎn)系統(tǒng)，用于沉積金屬導(dǎo)電層，TCO層和不同的吸收層。例如CIGS 或 CdTe光伏太陽能電池。模塊化的方案給予高可靠性和高成本效益的有機(jī)結(jié)合，可以根據(jù)客戶的需求靈活配置設(shè)備。例如PIA|nova®的適用范圍： 薄膜太陽能電池：a-Si:H, a-Si:H/µc-Si:H
前電極：SiOxNy, ZnO：Al
背電極：ZnO:Al, Ag, Al薄膜太陽能電池：CdTe
前電極：ITO, SnO2
背電極：Al, Cr, Mo, Sb2Te3, NiV薄膜太陽能電池：CIGS
前電極：i-ZnO, ZnO:Al
吸收層：CuGa, In
背電極：SiOxNy, Mo
  我們GC60V設(shè)備可以在垂直基片上進(jìn)行多種涂層的沉積。
  GC330H設(shè)備平臺(tái)是量產(chǎn)型鍍膜機(jī)，可以在平面玻璃基片上多層濺射鍍膜，同時(shí)可以為水平基片提供多種涂層沉積方案。工藝濺射腔體由可自定義編號(hào)的通用技術(shù)廂體組成，內(nèi)含先進(jìn)的780 mm設(shè)計(jì)。所有的廂體都是一模一樣的，以滿足最大限度的靈活性，無論蓋板上配置的是渦輪分子泵還是用于直流或交流濺射的不同設(shè)計(jì)的平面陰極或者旋轉(zhuǎn)陰極，都能靈活地匹配在任一個(gè)廂體上。如需增加額外的配置和先進(jìn)的工藝控制系統(tǒng)，可以很容易集成到系統(tǒng)中。設(shè)備基于渦輪分子泵和干式螺桿泵的真空工藝系統(tǒng)客戶可以通過交換裝有泵的蓋子、裝有磁控管的蓋子、磁控管周邊設(shè)施以及廂體間其它設(shè)備來自由組合、改裝。在相鄰濺射區(qū)域的排氣系統(tǒng)都有維修閥門。