設(shè)備型號(hào):MC-200
設(shè)備用途:主要用于LED芯片制造工序之外延片退火、TCL退火金屬電極合金等
工藝流程:升溫→通氮?dú)?rarr;穩(wěn)定溫度→石英舟及晶圓準(zhǔn)備、裝片→進(jìn)舟→退火合金→退貨完成、出舟→冷卻→卸片
技術(shù)特點(diǎn):
●3點(diǎn)內(nèi)熱偶控溫(串級(jí)溫度控制為可選型)
●全自動(dòng)懸臂推拉系統(tǒng)、自動(dòng)進(jìn)出料
●緊湊的造型設(shè)計(jì)
●觸摸屏全自動(dòng)控制
●溫度快速恢復(fù)功能
●雙溫區(qū)爐體