全自動超聲波硅片清洗設備

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工藝流程：上料→超聲波水洗→超聲波水洗→超聲波堿洗→超聲波堿洗→超聲波漂洗→超聲波漂洗→預脫水→隧道烘干→下料

技術特點：

●更安全的無接觸酸堿現場管理系統。

●更完善的全自動烘干技術。

●更優化的清洗流程，實現理想的清洗效果。

●獨特的去除切割損傷層功能，提高硅片表面質量。