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設(shè)備用途：主要用于晶體硅太陽能電池片周邊的刻蝕
技術(shù)特點：
●有效的真空檢測裝置安裝方法，保證真空準確性，同時可延長其清理校準周期。
●先進的控制方式和獨特的軟件，保證工藝過程的準確性、生產(chǎn)的穩(wěn)定性和操作的簡便。
●有效的反應(yīng)氣體處理裝置，延長換泵油時間，延長泵使用壽命，降低使用成本。
●比國內(nèi)設(shè)備同行更成熟可靠的刻蝕工藝，確保刻蝕效果得到提升，直接提升產(chǎn)品品質(zhì)。
●人性化的機器外形設(shè)計，和觸摸屏人機對話方式，更便于操作、維護、保養(yǎng)。
●配置進口壓力傳感器（薄膜規(guī)），采用獨特的安裝方式，有效防止粉塵粘附，提高抗干擾能力，消除零飄。
●優(yōu)化設(shè)計的線圈固定裝置，線圈與石英管距離一致，并且確保線圈無脫落。
●獨特的輝光中斷報警功能。避免由于設(shè)備故障產(chǎn)生刻蝕不凈的電池片下傳。
